1997年11月,魔都,渊基地。

    深秋的魔都,已有了几分凛冽的寒意。但渊基地的总装大厅里,却是一片热火朝天的景象。

    距离谢建军定下的十二月之期,只剩不到六周时间。拂晓二代的整机联调和优化工作,进入了最紧张、最关键的冲刺阶段。

    与初代拂晓相比,二代机的外观变化并不大,但内部核心子系统,已经经历了脱胎换骨的升级。

    新的投影物镜系统,采用了更大数值孔径(NA0.85)的设计,镜片数量更多,曲面更复杂,加工和装配难度呈指数级上升。

    浸没单元也经过了重新设计,液体流速更快,温控精度更高,对密封和抗污染的要求更加严苛。

    工件台系统则换装了全新的直线电机,和磁悬浮减震系统,定位精度和运动平稳性,都有了显著提升。

    此刻,秦师傅正带着几位核心骨干,围在主控台前,进行着今晚的第三次整机联调。

    每个人脸上都带着掩饰不住的疲惫,但眼神却依然锐利,紧紧盯着屏幕上跳动的各项参数。

    “浸没单元,液体循环稳定,温控精度±0.005℃,气泡含量低于检出限。”负责浸没系统的工程师报告。

    “工件台系统,空载定位精度优于3纳米,带载重复定位精度优于5纳米。”负责工件台的工程师紧随其后。

    “投影物镜系统,波像差检测完成,优于入/35,达到设计指标。”光学组的负责人声音带着一丝激动。

    “照明系统,输出功率稳定,光束均匀度达标。”

    一项项自检报告,如同战前点兵,清晰而有力。每一个达标的背后,都是无数个不眠之夜,和无数次推倒重来的艰辛。

    秦师傅没有立刻下令,开始曝光测试。他走到那台崭新的投影物镜前,俯下身,用一块特制的麂皮,小心翼翼地擦拭着物镜最下端,那片暴露在空气中的镜片表面。

    尽管那里理论上应该一尘不染。这是他多年来养成的习惯,一种近乎偏执的,对精度的敬畏。

    做完这一切,他才直起身,走到主控台前,深吸一口气,沉声道:“开始吧。”

    一枚刻有更加精细测试图形的十二英寸硅片,被机械臂无声地送入工件台。

    浸没单元启动,一层厚度精确、温度恒定,流动均匀的超纯水,再次精准地填充在物镜和硅片之间。

    激光光源被点亮,深紫外光束经过复杂的光学整形后,穿透那层清澈的水膜,聚焦在硅片表面的光刻胶上。

    工件台开始按照预设的程序,进行高速、高精度的步进和扫描曝光。

    这一次,扫描速度比初代拂晓快了将近一倍,而那层薄薄的水膜,在如此高速的运动下,依然保持着惊人的稳定性。

    时间一分一秒地过去。整个曝光过程,持续了大约十五分钟。

    当工件台完成最后一次步进,缓缓回到起始位置时,大厅里,一片死寂。

    秦师傅亲自将曝光后的硅片,放入高倍显微镜下。他调整焦距,仔细观察着光刻胶上显现出的,那些比发丝还要细上千百倍的线条。

    一秒。

    两秒。

    三秒。

    他的肩膀,几不可察地,微微颤抖了一下。

    然后,他缓缓直起身,转过身,看向在场的所有人。

    他那张被风霜和岁月刻满痕迹的脸上,肌肉微微抽搐,嘴唇哆嗦了几下,才终于发出声音,那声音嘶哑得几乎听不清,却带着一种足以穿透一切的、火山喷发般的力量。

    “线宽......”

    “一百一十纳米......”

    “成功了......”

    一百一十纳米!

    大厅里,先是死一般的寂静。所有人都像是被施了定身法,呆呆地站在原地,仿佛不敢相信自己的耳朵。

    然后,比上一次更加猛烈,更加肆无忌惮的欢呼声和嘶吼声,如同山呼海啸般,瞬间席卷了整个大厅!

    有人放声大哭,有人仰天长啸,有人紧紧拥抱在一起,有人瘫坐在地上,捂着脸,肩膀剧烈耸动。

    那些头发花白的老专家,那些沉默寡言的老师傅,那些风华正茂的年轻工程师,此刻,都放下了所有的矜持和克制,任由泪水,笑声和嘶吼声,汇成一片欢乐与解脱的海洋。

    一百一十纳米!

    这不仅仅是数字上的进步。这意味着,拂晓二代的分辨率,已经达到了此时ASML最先进的,干式ArF光刻机的同等水平,甚至略有超越。

    更重要的是,它证明了浸没式光刻这条技术路线,在龙国人的手中,是走得通的,而且可以走得很好!

    秦师傅没有加入狂欢的人群。他默默地走到窗边,他望着窗外魔都深秋的夜景,那座他奉献了大半辈子的城市,此刻在夜色中,灯火阑珊。

    他知道,从这一刻起,龙国,终于在全球高端光刻机,这个长期被少数西方巨头垄断的领域,有了真正可以上桌一较高下的筹码。

    他掐灭烟头,拿起手机,拨通了那个熟悉的号码。

    电话接通,那头传来谢建军沉稳的声音:“秦师傅,怎么样了?”

    秦师傅沉默了片刻,用他那沙哑的嗓音,缓缓说道:“谢总,幸不辱命。”

    “一百一十纳米,跑通了。”

    电话那头,是长久的沉默。

    然后,他听到谢建军的声音,带着一丝他从未听过的,微微的颤抖:“好。”

    “好啊!”

    “秦师傅,我代表未名轩辕,代表所有期待着这一天的龙国人......”

    “谢谢你!”

    秦师傅的眼眶,瞬间有些湿润。他没有再说话,只是默默地挂断了电话。

    窗外,魔都深秋的夜空,繁星点点。

    而在那间灯火通明的大厅里,一群龙国人,刚刚用自己的智慧和汗水,在人类半导体技术的宏伟画卷上,重重地刻下了属于自己的一笔。

    1997年12月初,魔都浦东国际机场。

    一架没有任何航空公司标识、涂着哑光灰色涂装的湾流公务机,静静地停在专用停机坪上。登机梯旁,站着几个人。

    谢建军穿着一件深灰色的羊绒大衣,手里拎着一个并不沉重的黑色手提箱。

    箱子里,没有换洗衣物,没有个人用品,只有一台经过特殊加固的笔记本电脑,以及一块用防静电薄膜层层包裹的、巴掌大小的硅片。

    那是拂晓二代刚刚跑出的、线宽110纳米的测试样片。这是他此行新加坡,最重要的筹码。

    陈向东站在他身后半步的位置,同样穿着一身正装,神情略显紧张。

    这是他第一次参与如此高级别的国际商务谈判,对手还是ASML这样的全球顶级巨头。

    刘欣没有随行,她留在京城继续带领朱雀算法团队进行优化,为下一步更先进的制程节点做准备。

    郑律师则先期飞往新加坡,与ASML方面敲定最后的会晤细节,和安保安排。

    “谢总,时间差不多了。”一位随行的安保人员轻声提醒道。

    谢建军点了点头,最后看了一眼浦东国际机场繁忙的跑道,以及远处那座初显繁华的城市轮廓。然后,他转过身,踏上了舷梯。

    湾流公务机的引擎发出低沉的轰鸣,缓缓滑向跑道。加速,抬头,起落架收起,飞机轻盈地脱离地面,冲向冬日晴朗的天空。

    陈向东坐在靠窗的位置,望着窗外逐渐变小的大地和海岸线,心中感慨万千。

    几个月前,他还在为朱雀算法的一个收敛性问题而彻夜难眠。

    而现在,他却正飞往一个陌生的国度,去与这个星球上最强大的光刻机公司,进行一场足以影响未来数十年,全球半导体产业格局的对话。

    这一切,都发生得太快,快到让他有时感觉有些不真实。

    “紧张吗?”坐在对面的谢建军,仿佛看穿了他的心思,开口问道。

    陈向东老实地点了点头说道:“有一点。毕竟,我们这次要面对的,是ASML。”

    “ASML也是人组成的。是人,就会有弱点,有顾虑,有算盘。”谢建军端起空乘刚刚送来的热茶,轻轻抿了一口,语气平淡的说道。

    “我们这次去,不是去求他们什么的。我们是去告诉他们,这个世界上,除了他们之外,还有另一种选择。

    而这个选择,现在已经具备了实实在在的,可以与之竞争的实力。”

    他放下茶杯,目光落在陈向东脸上,带着一丝鼓励和期许:“记住,向东。谈判桌上,实力决定一切。而我们手里,有他们最想要的东西,也有他们最害怕的东西。这就足够了。”

    陈向东细细咀嚼着谢建军的话,心中的紧张感,不知不觉消散了许多。是啊,他们手里有ASML梦寐以求的浸没式光刻核心专利,有已经跑通110纳米线宽的工程样机,有正在快速迭代的计算光刻软件......这些,都是实实在

    在的筹码。他们不是空着手去乞求合作的。

    飞机穿过云层,阳光透过舷窗,洒进机舱,一片灿烂。

    陈向东靠在舒适的座椅上,闭上眼睛,开始在心里默默演练着可能遇到的提问和应对策略。

    他知道,接下来的几天,将是他人生中,最重要的一场考试。

    而此刻,在新加坡市中心一家顶级酒店的总统套房内,郑律师正与ASML的先遣团队,就会晤的最终流程和安保细节,进行着最后的确认。

    双方都彬彬有礼,措辞严谨,但空气中,却弥漫着一种看不见的,如同绷紧的琴弦般的张力。

    一场注定将载入全球半导体产业发展史册的会晤,即将拉开帷幕。

    1997年12月,新加坡,香格里拉大酒店。

    热带岛屿的午后阳光,透过落地窗的纱布,在会议室深褐色的柚木地板上洒下斑驳的光影。

    窗外是酒店占地广阔的园林,绿意盎然,鸟鸣啁啾。但会议室内,气氛却与窗外的悠闲景致截然不同。

    长长的会议桌一侧,坐着谢建军、陈向东和郑律师。

    另一侧,则是以ASML的CTO范德文为首的四人代表团,其中包括一位头发花白、气质沉稳的首席专利律师,以及两位负责技术和市场战略的高级总监。

    这是双方最高决策层的第一次直接会面。没有冗长的开场白,没有过多的寒暄。

    在简短的相互介绍和礼节性握手之后,范德文便直入主题。

    “谢先生,首先,请允许我代表ASML,对贵方在浸没式光刻技术领域取得的成就,表示祝贺。”范德文的英语带着一些荷兰口音,但措辞标准而流畅。

    “贵方在如此短的时间内,从理论验证到原型机成功曝光,所展现出的技术实力和执行效率,令我们印象深刻。”

    “范德文先生过奖了。”谢建军微微一笑,不卑不亢的说道:“我们只是在一个正确的技术方向上,做了一些应该做的工作。

    与ASML数十年的技术积淀相比,我们还有很长的路要走。”

    “谢先生谦虚了。”范德文身体微微前倾,目光变得更加专注的说道:“既然我们双方都认可浸没式光刻,是通往下一代制程的关键技术路径,那么,我想,我们就没有必要在那些无关紧要的细节上,浪费时间了。

    我们这次来,是希望能够与贵方,就如何共同推动这项技术的发展,以及如何建立一个公平、合理、互利共赢的合作框架,进行深入的探讨。”

    他顿了顿,目光扫过谢建军身边的陈向东和郑律师,然后重新落回谢建军脸上:“我们仔细研究过贵方提出的非约束性意向书。

    坦率地说,贵方在专利授权费用,和组件供应方面提出的条件,远远超出了我们能够接受的范围。

    我们理解贵方希望将技术优势,转化为商业回报的诉求,但任何合作,都必须建立在双方都能够接受的基础之上。”

    范德文的开场白,绵里藏针。他首先肯定了对方的成就,释放了善意,然后立刻切入最核心的分歧点,表明了己方的强硬立场,试图在谈判一开始,就掌握主动。

    谢建军静静地听完,脸上没有任何表情变化。他端起面前那杯散发着淡淡茉莉花香气的热茶,轻轻抿了一口,然后放下茶杯,目光平静地迎向范德文。

    “范德文先生,我完全同意您的看法,任何合作,都必须建立在双方都能够接受的基础之上。”他不疾不徐地开口,声音不高,却清晰地传遍了会议室的每一个角落。

    “那么,我想首先确认一下,贵方是否认可,我们在浸没式光刻技术领域,所拥有的核心专利的有效性,以及这些专利对于实施浸没式光刻技术的必要性?”

    这个问题,如同一把精准的手术刀,直接切入了ASML最不愿意正面回应的话题。

    如果他们承认了对方专利的有效性和必要性,那么在后续的授权费谈判中,将陷入极大的被动。

    如果他们否认,那么就必须拿出令人信服的反驳证据,而这正是他们目前最欠缺的。

    范德文和他的首席专利律师迅速交换了一个眼神。后者清了清嗓子,正准备开口,谢建军却仿佛没有看到他们的反应,自顾自地继续说下去:

    “为了节省各位的时间,我想,我们可以先看一些东西。”

    他向陈向东示意了一下。陈向东会意,打开随身携带的手提箱,取出一台加固笔记本电脑,以及一块用防静电薄膜包裹的硅片。

    他将硅片小心翼翼地放在会议桌中央,然后连接好电脑,将一幅清晰的扫描电子显微镜图像,投影在会议室墙上的大屏幕上。

    图像上,是一排排线条清晰、边缘锐利、间距均匀的纳米级线条。图像的左下角,标注着一行小字: “Line/Space = 110nm / 110nm. Exposure Tool:拂晓’Gen-II (Immersion). Date: Nov 28,1997.”

    “这是我们上周刚刚完成的一次曝光测试的结果。”谢建军的声音,依然平静,却仿佛带着一种无形的重量。

    “在十二英寸硅片上,实现了110纳米等宽等距线条的稳定曝光。整机分辨率,套刻精度和产能,均已达到初期设计指标。”

    他顿了顿,目光扫过ASML代表团每一位成员的脸,将他们脸上那难以掩饰的震惊、凝重和复杂情绪,尽收眼底。

    “我们带着这份成果,不远千里来到新加坡,不是为了炫耀,更不是为了威胁。”谢建军的声音,带上了一丝诚挚。

    “我们是真心希望能够与ASML这样优秀的公司,共同探索一条能够充分发挥双方优势,共同推动浸没式光刻技术,早日走向成熟和普及的合作道路。”

    “但是,”他话锋一转,语气变得坚定而不容置疑的说道:“任何合作,都必须建立在相互尊重,和承认对方核心价值的基础之上。

    我们愿意在合理的条件下,与ASML分享我们的技术成果。但我们绝不会接受,任何试图贬低我们技术价值,或者试图以不公平条件,获取我们核心知识产权的方案。”

    “这就是我们的底线。”

    “也是我们这次来新加坡,希望与贵方达成的共识。”

    谢建军说完,会议室里,陷入了长久的沉默。

    范德文的目光,死死地盯着屏幕上那张110纳米线宽的SEM图像,仿佛要将它每一个细节都刻入脑海。他带来的几位随行人员,也各自面色凝重,低声交谈着。

    他们来之前,已经对拂晓项目的技术水平,做了尽可能高的估计。但他们万万没有想到,对方的进展,竟然比他们最乐观的预测,还要快,还要好。

    110纳米,这已经接近ASML此时最先进的干式ArF量产机型的水平了。而对方,用的还是一台工程样机!

    这意味着,他们之前准备的那些绕开专利、技术替代的方案,在绝对的技术实力差距面前,显得如此苍白无力。

    范德文缓缓摘下眼镜,用一块麂皮绒布,仔细地擦拭着镜片。他的动作很慢,仿佛在借此平复内心的波澜。

    良久,他重新戴上眼镜,看向谢建军,目光中,那种初来时的锐利和自信,已经消退了不少,取而代之的,是一种更加复杂,更加审慎的神色。

    “谢先生,”他开口,声音比之前低沉了许多:“您提供的这份数据,非常有说服力。

    我想,我们需要一些时间,对贵方展示的成果,进行独立的评估和验证。

    同时,我们也会基于这份新的信息,重新评估我们之前的合作方案。”

    他顿了顿,补充道:“我建议,我们明天继续进行第二轮会谈。届时,我希望我们能够提出一些更具建设性的想法。”

    谢建军点了点头说道:“好的,范德文先生。我们期待着与贵方进行更深入的交流。

    第一轮会谈,在一种表面平静,实则暗流涌动气氛中,暂时告一段落。

    走出会议室,陈向东长长地舒了一口气。刚才在谈判桌上,他虽然努力保持着镇定,但手心其实早已满是汗水。

    他第一次切身感受到,那种在顶级商业博弈中,用实力和技术说话所带来的力量和自信。

    “谢总,您觉得,ASML那边,会接受我们的条件吗?”他低声问走在前面的谢建军。

    谢建军没有回头,只是淡淡地说了一句:

    “他们会的。”

    “因为他们别无选择。”