林本艰的话,如同在平静的湖面投下了一颗石子,在渊基地总装大厅里,漾开了一圈圈无声的涟漪。

    周围的工程师们,虽然依旧在各自岗位上忙碌,但不少人都不自觉地放慢了手上的动作,竖起了耳朵。

    谢建军没有立刻回应。他只是静静地看着林本艰,目光沉静而深邃。良久,他缓缓开口,声音不高,却清晰地传入在场每一个人的耳中。

    “林博士,宝积电的认可,对我们来说是莫大的荣幸。但战略合作,不是儿戏。

    它需要双方在技术路线、商业利益,乃至长期愿景上,达成高度的共识和互信。

    在迈出这一步之前,我想先请教林博士一个问题。”

    林本艰微微一怔,随即正色道:“谢先生请讲。”

    “宝积电,作为全球半导体代工的领导者,如何看待未来十年,全球光刻技术格局的演变?”

    谢建军的问题,看似宏大而抽象,却直指双方合作最核心的战略基。

    “在您看来,浸没式光刻,是会像当年的i-line和KrF一样,成为一种过渡性的技术节点,还是会像ASML所期望的那样,成为统治未来十到十五年,高端光刻市场的主流技术?”

    这是一个极具深度的问题。它考验的不仅仅是林本艰对技术本身的判断,更是他对整个产业趋势的宏观把握和战略眼光。

    林本艰沉默了片刻。他没有急于回答,而是走到拂晓二代机前,伸出手指,轻轻划过那光滑的、覆盖着防尘罩的机身,仿佛在感受这台机器内部,蕴含的力量和智慧。

    然后,他转过身,目光迎向谢建军,语气平静,却带着一种不容置疑的肯定。

    “谢先生,我的判断是,浸没式光刻,将成为自193nm ArF干式光刻以来,全球光刻技术史上最重要的一次革命。

    它的意义,不亚于当年从g-line到i-line,从i-line到KrF的跨越。”

    他顿了顿,继续说道:“EUV当然是更长远的方向,但它的工程化难度和成本,远超当前大多数人的想象。

    在未来十年,甚至更长时间内,浸没式光刻,将是支撑先进制程持续演进的最核心、最现实的技术路径。

    谁能在这场浸没式光刻的竞赛中,占据领先地位,谁就能在未来十年的半导体产业格局中,掌握最大的话语权。”

    他的目光,变得更加深邃:“宝积电之所以如此关注贵方的进展,正是因为我们已经清晰地认识到,浸没式光刻,将是决定我们下一代制程,竞争力的关键。

    而与掌握核心技术和专利的伙伴,建立深度合作关系,是确保我们在这一关键领域,不落后于人的最佳策略。”

    林本坚的回答,坦诚而深刻,没有丝毫的敷衍和保留。他不仅清晰地阐述了,自己对浸没式光刻技术战略地位的判断,也间接解释了宝积电,为何如此急切地想要与拂晓团队建立合作。

    谢建军静静地听完,脸上依然没有什么表情变化。但他心中,对林本艰的评价,又高了几分。

    这不仅是一位顶尖的光刻技术专家,更是一位具有卓越战略眼光的产业思想家。

    “林博士的见解,令人佩服。”谢建军终于开口,语气中带上了一丝真诚的赞赏。

    “既然我们在技术路线的战略判断上,能够达成如此高度的共识,那么,我想,我们确实有了进一步探讨合作的基础。”

    他看向郑律师:“郑老,麻烦您安排一下。明天上午,我们在星火基地的会议室,与林博士一行,进行一次闭门会谈。

    议题,就定为面向未来的浸没式光刻技术合作,框架、路径与愿景。”

    郑律师郑重地点了点头说道:“明白,我马上去安排。”

    林本艰的脸上,终于露出了如释重负的笑容。他主动向谢建军伸出手:“谢先生,期待明天的会谈。”

    谢建军握住他的手,用力地握了握:“我也很期待。”

    两只手,跨越了海峽的阻隔,在魔都这间不起眼的基地里,紧紧地握在了一起。

    这不仅仅是两个人的握手,更是两家在各自领域举足轻重的企业,在历史的十字路口,做出的一个可能影响未来数十年,全球半导体产业格局的郑重选择。

    当晚,林本艰拒绝了谢建军设宴款待的邀请,选择留在渊基地附近一家普通的招待所休息。

    他需要时间来消化,白天所看到的一切,并为明天的正式会谈,做好最充分的准备。

    而谢建军,则在送走林本艰后,独自一人,再次来到了总装大厅。

    拂晓二代机静静地矗立在昏黄的灯光下,如同一尊沉默的钢铁巨兽。

    他绕着机器,缓缓走了一圈,伸出手,轻轻抚摸着那冰冷的、覆盖着防尘罩的机身,感受着指尖传来的、金属特有的质感。

    他知道,从明天开始,一切都将不同了。

    与宝积电的合作,将不仅仅是技术上的互补,和商业上的共赢。它将像一根导火索,彻底点燃全球半导体产业格局重构的引信。

    ASML、尼康、三星、英特尔......所有的玩家,都将被迫重新审视,自己的战略和定位。

    而他,以及他身后的拂晓团队,将站在这场波澜壮阔的产业变革的最前沿。

    夜色渐深渊基地的灯光,依然亮着。那光芒,在早春的寒夜中,显得格外明亮而坚定。

    次日清晨,京城,星火基地。

    一辆不起眼的考斯特中巴,在晨光中驶入基地大门。车门打开,林本艰和他的助手,在郑律师的陪同下走了下来。

    与昨日在渊基地的震撼和激动不同,经过一夜的沉淀和思考,林本艰的神情已经恢复了,惯常的冷静和专注。

    他穿着一件深灰色的夹克,手里拎着一个并不沉重的公文包,步履稳健。

    星火基地的会议室,布置简洁而实用。没有豪华的装饰,没有多余的摆设,只有一张足以容纳二十人的长条形会议桌,几把舒适的椅子,以及墙上两块巨大的白板。

    白板上还残留着一些昨夜讨论时留下的、未被完全擦除的公式和草图,透着一股浓郁的学术和工程气息。

    谢建军、陈向东、刘欣已经等在会议室里。看到林本艰进来,三人同时起身,以示尊重。

    “林博士,昨晚休息得可好?”谢建军迎上前去,与林本坚握手。

    “非常好,谢谢谢先生关心。”林本艰微笑着回应:“魔都郊外的夜晚,比新竹要安静得多,睡得很踏实。”

    几句寒暄过后,双方在会议桌两侧落座。没有过多的客套,谢建军直接切入正题:

    “林博士,昨天您在渊基地,已经对我们的技术现状有了直观的了解。

    今天,我们想向您介绍一下,我们对未来三到五年,浸没式光刻技术发展路线的规划和设想。

    希望这些想法,能够为双方的合作,提供一个更加清晰的框架。”

    他示意了一下陈向东。陈向东会意,打开笔记本电脑,连接上投影仪。一幅清晰的、标注着详细时间节点和技术指标的,浸没式光刻技术路线图,出现在了大屏幕上。

    “这是我们内部代号拂晓项目的技术发展规划。”陈向东站起身,走到屏幕前,开始讲解道。

    “我们的目标是:在1999年底之前,完成90纳米节点浸没式光刻机的,工程样机开发和内部验证。

    在2001年,推出可用于量产线的第一代商用机型,目标分辨率65纳米。

    在2003年,推出第二代商用机型,目标分辨率45纳米,并初步具备支持下一代,EUV光刻技术过渡的混合架构能力。”

    他一边讲解,一边用激光笔在路线图的关键节点上圈点着。每一个目标,都伴随着具体的技术指标、关键里程碑和资源配置计划。

    整个路线图,逻辑清晰,论证严谨,既有雄心勃勃的目标,也有脚踏实地的路径规划。

    林本艰听得很认真,不时在本子上记录着什么。当陈向东讲到45纳米节点的技术挑战和应对策略时,他微微皱起眉头,插话问道。

    “陈总,45纳米节点,对浸没式光刻的数值孔径和套刻精度,将提出极其苛刻的要求。

    贵方计划如何解决高折射率浸没液体的开发,和超大数值孔径投影物镜的制造难题?这两个方向,即使在全球范围内,也属于尚未被攻克的无人区。”

    陈向东微微一笑,仿佛早就预料到林本艰会问这个问题。他切换了一张幻灯片,屏幕上出现了一张复杂的分子结构图和一串长长的化学式。

    “关于高折射率浸没液体,我们与国内一所顶尖高校的化学系合作,已经合成出几种具有潜力的新型有机溶剂,其折射率在193nm波长下,可以达到1.65以上,远高于水的1.44。

    目前正在进行毒理学和兼容性测试。如果进展顺利,有望在明年年中,提供可供工程验证的样品。”

    他又切换了一张幻灯片,这次显示的是一组光学仿真数据,和一种新颖的、由多组非球面镜片和自由曲面镜片,组合而成的光学结构示意图。

    “至于超大数值孔径投影物镜,我们正在探索一种,基于分区式和自适应光学相结合的创新设计思路。

    通过将巨大的物镜分解为多个较小的、可独立调节的子镜组,并引入主动变形镜技术,来实时补偿动态像差,我们有望在可制造的范围内,将数值孔径提升到1.2甚至更高。”

    林本坚的眼中,闪过一丝难以掩饰的惊讶和赞赏。

    他没想到,对方不仅在工程实现上走在了前列,在对未来更长远技术挑战的预研和布局上,也远远走在了他的前面。

    这些关于高折射率液体,和超大数值孔径物镜的研究思路,即使放在ASML或宝积电的内部技术论坛上,也属于最前沿、最具探索性的方向。

    他沉默了片刻,然后缓缓放下手中的笔,抬起头,目光直视谢建军:“谢先生,贵方的技术路线规划和预研深度,令我深感敬佩。

    基于这样的技术实力和战略眼光,我想,宝积电与贵方之间的合作,不应该仅仅停留在供应商-客户,或者专利授权的层面。”

    他顿了顿,郑重地说道:“我建议,我们共同成立一个联合技术委员会,由双方最顶尖的专家组成,定期交流技术进展,共同制定下一代浸没式光刻技术的标准和规范。

    同时,宝积电愿意率先在自己的先进产线上,引入贵方的浸没式光刻原型机,进行工艺验证和联合调试,为未来的大规模商用积累经验。”

    “如果这个合作模式能够顺利推进,宝积电愿意在未来,将贵方列为优先供应商,并在全球范围内,协助贵方推广浸没式光刻技术。”

    林本坚提出的合作框架,比谢建军预期的还要深入和全面。

    它不仅涵盖了技术研发层面的深度合作,还包括了市场推广,和产业生态构建的长期承诺。

    这表明,宝积电是真心实意地,想要与拂晓团队,建立一种超越普通商业关系的、战略性的合作伙伴关系。

    谢建军没有立刻回答。他沉默了片刻,然后缓缓站起身,向林本艰伸出了手:

    “林博士,感谢宝积电的信任和诚意。未名-轩辕,愿意与宝积电一道,共同开创浸没式光刻技术的新时代。”

    两只手,再次紧紧地握在了一起。

    这一次,握手的时间,比昨天在渊基地时,更长,也更用力。

    窗外,京城的春日阳光,穿透云层,洒在星火基地的草坪上,一片生机盎然。

    而在会议室里,一项足以影响未来数十年,全球半导体产业格局的合作框架,正在悄然成形。

    1998年3月,荷兰埃因霍温,ASML总部。

    一封来自宝积电的,措辞谨慎而正式的公函,摆在了CEO的办公桌上。

    公函的核心内容是,宝积电经过审慎评估,决定在下一代先进制程光刻设备的选型上,将同步推进与ASML TWINSCAN系列,以及另一家新兴技术供应商的技术验证合作。

    以确保宝积电能够接触到最广泛、最具竞争力的技术方案,为其全球客户提供最优的服务。

    公函中没有指名道姓,那家新兴技术供应商是谁,但ASML的高层们心知肚明。

    那个来自东方的幽灵,不仅成功地让ASML在谈判桌上无功而返,更在短短几个月内,就撬动了宝积电这个全球半导体代工的定海神针。

    CEO坐在办公桌后,脸色铁青。他面前那杯早已凉透的咖啡,一口未动。

    他沉默了很久,才缓缓开口,声音带着一种压抑不住的怒意和挫败感:

    “我们......还是低估了他们。

    他猛地站起身,走到窗前,用力推开窗户,让早春寒冷的空气,猛地灌入温暖的办公室。

    他需要这股冷意,来让自己发热的头脑,冷静下来。

    “范德文,立刻启动暗流计划的第二阶段。”他没有回头,声音冰冷而决绝。

    “动用我们一切可以动用的资源,无论合法还是灰色地带,给我彻底查清那个幽灵的背景、资金来源、技术团队构成,以及......他们与宝积电之间,到底达成了什么样的协议。”

    “同时,”他转过身,目光如同鹰隼般锐利:“通知我们在华盛顿的游说团队。

    是时候,让美国政府意识到,在高端光刻机领域,一个由龙国政府支持的,具有强大技术实力,和侵略性市场策略的竞争者,正在崛起。

    这不仅仅是ASML一家的挑战,这是对整个西方半导体产业生态的威胁。”

    “我们需要政府的介入,需要出口管制、投资审查、甚至是技术封锁......所有可能的手段,都不能排除。”

    范德文CTO心中一凛。他明白,CEO这是要准备掀桌子了。将商业竞争上升到地缘政治层面,是一把双刃剑,可能有效遏制对手,但也可能引发不可控的连锁反应。

    但在目前的情况下,这似乎是ASML能够打出的最后,也是最重的一张牌。

    “我明白了。”范德文郑重地点了点头:“我马上去安排。’

    几乎在同一时间,日本东京,尼康公司总部。

    一份关于宝积电与那家神秘东方实体,可能达成合作框架的情报摘要,同样摆在了尼康高层的案头。

    与ASML的愤怒和焦虑不同,尼康的反应,更多的是一种混合着幸灾乐祸,和深切忌惮的复杂心态。

    “呵呵,ASML这回,可是踢到铁板了。”一位高管忍不住幸灾乐祸地笑道。

    “他们一直想在浸没式路线上抄近道,结果被人家用专利堵了个严严实实。

    现在连宝积电都开始两头下注了,看他们怎么收场。”

    “别高兴得太早。”社长冷冷地泼了一盆冷水:“ASML倒霉,不代表我们就能好过。那个幽灵能搞定宝积电,说明他们的技术实力和商业运作能力,都远非等闲之辈。

    等他们消化了宝积电的订单和技术反馈,下一个目标,很可能就是我们。”

    他站起身,走到墙上挂着的那幅巨大的,全球光刻机市场份额分布图前,目光落在代表龙国市场的那个,几乎可以忽略不计的微小色块上,沉默了片刻。

    “157nm路线,必须加速。”他斩钉截铁地说道:“这是我们唯一的,也是最后的,弯道超车的机会。

    集中所有资源,不惜一切代价,在明年年底之前,必须推出可量产的157nm光刻机。

    “另外,”他顿了顿,目光变得更加深邃:“派人,去一趟魔都。不是去谈判,是去学习。

    以技术交流的名义,尽可能地接触那个幽灵的技术团队,摸清他们的底细和弱点。”

    一场围绕着浸没式光刻技术、波及全球光刻机市场主要玩家的博弈,正在以前所未有的烈度,全面升级。

    而魔都渊基地那台静静矗立的拂晓,如同投入平静湖面的一块巨石,它所激起的涟漪,正在一圈一圈地,扩散向整个世界的半导体产业版图。