次日清晨,埃因霍温机场。

    刘欣坐在飞往法兰克福转机的候机厅里,透过巨大的落地窗,望着停机坪上忙碌的地勤车辆和起降的飞机。

    昨晚与范德文CTO的单独会面,持续了近两个小时。

    会面中,范德文一改白天的试探和矜持,更加坦诚地表达了ASML,对于与拂晓团队建立某种形式合作关系的兴趣,甚至暗示,可以考虑在特定项目上进行联合研发。

    刘欣没有当场做出任何承诺,只是表示会将ASML的意向,带回国内,向团队和上级主管部门汇报。

    她知道,这趟荷兰之行,她已经成功地完成了亮剑的任务,让ASML实实在在地感受到了,来自东方的技术压力。

    至于下一步是战是和,那将是由谢建军,和国家层面来决定的事情了。

    登机广播响起,刘欣收回思绪,提起手提箱,走向登机口。

    几个小时后,她将降落在京城首都国际机场,回到那片她熟悉和热爱的土地,回到星火基地,回到那些与她并肩作战的战友们身边。

    而在她身后,埃因霍温ASML总部的CEO办公室里,气氛却远没有她这般轻松。

    范德文CTO正站在CEO的办公桌前,详细汇报着昨天与刘欣交流的经过,以及她那番亮剑所带来的冲击。

    “………………她展示的那张100纳米线宽的SEM图像,经过我们内部专家的反复确认,基本可以判定为真实可信。

    范德文的语气,带着一丝难以掩饰的沉重说道:“这意味着,那个幽灵在浸没式光刻的实际工艺能力上,已经追上了我们,至少两到三年的研发进度。

    而且,他们在计算光刻算法上的领先优势,可能比我们之前估计的,还要更大。”

    CEO坐在办公桌后,脸色阴沉得可怕。他面前的咖啡,已经彻底凉透,却一口未动。

    他沉默了很久,才缓缓开口,声音带着一种压抑不住的怒意和挫败感。

    “我们......还是低估了他们。不,我们不是低估了他们,我们是根本就没想到,他们能够走得这么快,这么稳。”

    他猛地站起身,走到窗边,用力推开窗户,让初冬寒冷的空气,猛地灌入温暖的办公室。他需要这股冷意,来让自己发热的头脑,冷静下来。

    “范德文,你说,她现在,应该已经坐上回龙国的飞机了吧?”CEO背对着范德文,突然问道。

    范德文微微一怔,不明白CEO为什么会突然问这个问题,但还是如实回答道:“按照日程安排,她今天上午的航班,应该已经起飞了。”

    “走了好,走了好啊......”CEO低声喃喃道,仿佛在自言自语的说道。

    “她再多待几天,我怕我们那些好不容易建立起来的信心和士气,会被她彻底瓦解。”

    他转过身,走回办公桌前,目光重新变得锐利而坚定的说道:“范德文,启动熔岩计划吧。”

    范德文心中猛地一震。熔岩计划,是ASML内部最高级别的应急预案之一,只有在认定公司核心技术,和市场地位面临根本性威胁时,才会被触发。

    一旦启动,意味着ASML将不计成本,不惜代价,集中所有资源,在最短时间内,实现浸没式光刻技术的自主突破和量产,并同时在所有可能的法律和商业领域,对竞争对手发起全面反击。

    “老板,您确定要启动熔岩吗?这个计划的风险和代价......”范德文忍不住提醒道。

    “我确定。”CEO斩钉截铁地打断了他说道:“我们已经没有退路了。

    要么,在浸没式光刻这个战场上,彻底击败那个幽灵,守住我们的霸主地位。

    要么,就被他们一步步蚕食,最终沦为二流玩家。没有第三条路可走。”

    他抬起头,目光与范德文对视,一字一顿地说道:“告诉董事会,告诉全体员工,ASML,从今天起,进入战时状态。

    范德文沉默了片刻,最终,缓缓地点了点头说道:“我明白了。我马上去安排。”

    他转身,大步走出了CEO办公室。他知道,从这一刻起,全球光刻机产业的竞争,将进入一个全新的、更加残酷的阶段。

    一场真正的战争,即将打响。

    而在万米高空之上,刘欣正靠在舒适的座椅上,闭目养神。

    她并不知道,在她身后,一场由她亲手点燃的,席卷全球光刻机产业的风暴,正在以前所未有的速度,加速酝酿。

    她只知道,当她回到京城,回到星火基地时,她将有更多的事情要做,更重的担子要挑。

    但她并不畏惧。因为她知道,她不是一个人在战斗。

    1998年11月,荷兰埃因霍温,ASML总部。

    熔岩计划的启动,如同一场无声的地震,在ASML内部引发了剧烈的震荡。

    原本就高度紧张的研发节奏,被瞬间推向了近乎疯狂的境地。

    人力资源部门开始在全球范围内高薪挖角,重点 targets是那些在浸没式光刻、高折射率材料,以及先进光学设计领域,拥有丰富经验的顶尖人才。

    财务部门则紧急调配了,超过十亿欧元的专项研发资金,并削减了部分非核心项目的预算,以确保熔岩计划拥有充足的弹药。

    在研发中心,原本平行推进的多个技术路线,被迅速整合和聚焦。

    所有与浸没式刻相关的项目,都被提升到了最高优先级。

    工程师们开始实行三班倒的工作制度,确保研发设备能够二十四小时不间断运转。

    咖啡机和能量饮料的消耗量,呈指数级上升。

    范德文CTO亲自挂帅,担任熔岩计划的总指挥。

    他取消了所有非必要的商务旅行和会议,将全部精力都投入到这个项目中。

    他每天的工作时间,延长到了十四个小时以上,甚至经常直接睡在办公室的行军床上。

    ASML这架庞大的机器,以前所未有的高速和强度运转起来。

    它所散发出的热量和能量,让每一个身处其中的人,都感到一种近乎窒息的压迫感和紧迫感。

    与此同时,在美国华盛顿特区,ASML的游说团队,也在紧锣密鼓地活动着。

    他们利用ASML在西方半导体产业链中的核心地位,以及美国政府对 maintaining technological superiority over China的深层关切,试图推动美国政府出台更加严格的,针对龙国高端光刻技术获取的限制措施。

    一份份精心撰写的报告和白皮书,被递交到商务部、国防部、以及国会相关委员会的案头。

    报告中,将拂晓项目描绘成一个由龙国政府深度支持,旨在窃取西方核心技术,并最终服务于军事现代化目的的技术掠夺者,呼吁美国政府采取果断措施,阻止其获取任何可能提升其技术实力的机会。

    虽然瓦森纳协定的路子暂时走不通,但ASML希望通过推动美国单边出口管制的升级,来达到 similar effect。

    毕竟,许多关键的精密光学元件、特种材料和高端测量设备,都掌握在美国公司手中。

    一场从技术研发到产业政策、从商业竞争到地缘政治的全面战争,已经悄然打响。

    而在大洋彼岸的龙国魔都,渊基地的灯光,同样彻夜未熄。

    刘欣从荷兰回来后,带回了大量关于ASML技术现状,和组织文化的第一手情报。

    这些情报,经过郑律师团队的整理和分析后,为拂晓项目的后续研发策略调整,提供了极其 valuable的参考。

    谢建军在听取了刘欣的详细汇报后,做出了一个重要的决定,将拂晓三代机的研发目标,从原先的90纳米节点,直接提升到65纳米节点。

    同时,启动针对45纳米节点的预研工作。

    这是一个极其大胆,甚至有些冒险的决定。

    这意味着,他们需要在更短的时间内,跨越更大的技术台阶。

    但谢建军认为,ASML启动熔岩计划后,必然会以前所未有的速度,推进其浸没式光刻技术的研发。

    如果他们按部就班地按照原定计划推进,很可能会被ASML重新拉开差距。

    只有采取更加激进的策略,才有可能在这场竞赛中,始终保持领先。

    “告诉秦师傅,告诉刘欣,告诉陈向东,告诉渊基地和星火基地的每一个人,”谢建军在项目核心成员的动员会上,声音斩钉截铁的说道。

    “ASML想用熔岩烧死我们,那我们,就用拂晓的光芒,照亮整个时代!”

    “目标:65纳米!”

    “时间:1999年底!”

    “只许成功,不许失败!”

    会议室里,短暂的沉默后,爆发出一阵雷鸣般的响应声。

    一场决定未来数十年全球半导体产业格局的、真正的巅峰对决,已经在两个相隔万里的国度之间,以前所未有的速度和强度,全面展开。

    胜负,尚未可知。但双方都已经亮出了自己最锋利的爪牙,准备进行一场生死搏杀。

    1998年12月,魔都,渊基地。

    距离谢建军下达65纳米攻坚令,已经过去了一个多月。渊基地的运转节奏,比之前任何时候都要紧张。

    秦师傅带领着核心团队,几乎住在了车间里,对拂晓三代机进行着一轮又一轮的硬件升级和调试。

    新的投影物镜系统、更高灵敏度的浸没单元、以及更高速更精密的工件台,正在逐步替换掉原有的部件。

    然而,65纳米节点的挑战,远不止硬件升级那么简单。

    随着分辨率的提升,光刻胶的灵敏度,线宽粗糙度、以及缺陷控制等工艺问题,都变得更加棘手。

    为了解决这些问题,刘欣带领的朱雀算法团队,不得不与国内几家顶尖的化工,和材料研究所合作,共同开发适用于65纳米节点的,新型光刻胶材料和工艺。

    这天下午,刘欣刚从外地出差回来,风尘仆仆地赶到渊基地,准备与秦师傅沟通一批,新型光刻胶样品的测试结果。

    她刚走进总装大厅,就看到秦师傅正站在拂晓三代机旁边,手里拿着一张图纸,眉头紧锁,与几位核心骨干激烈地讨论着什么。

    “秦师傅,发生什么事了?”刘欣走过去,关切地问道。

    秦师傅抬起头,看到是刘欣,紧锁的眉头稍微舒展了一些,但语气依然带着一丝凝重:“小刘,你来得正好。我们刚刚发现一个问题,可能比较棘手。”

    他指着图纸上投影物镜系统的一个局部结构:“为了实现65纳米节点的分辨率,我们对物镜系统的数值孔径提出了更高的要求。

    但现有的镜片材料和镀膜工艺,在满足高数值孔径的同时,对深紫外激光的吸收率会显著上升,导致镜片在工作过程中发热加剧,引起热漂移,影响成像质量。”

    “我们尝试了几种新的镜片材料和镀膜方案,但效果都不太理想。要么是吸收率降下来了,但折射率均匀性又出了问题。

    要么是折射率均匀性满足了要求,但抗激光损伤阈值又不够高。总之,总是无法同时满足所有指标。”

    刘欣接过图纸,仔细端详了片刻。她虽然不是光学设计专家,但长期与光刻系统打交道,对物镜系统的基本原理和关键技术指标,也有着相当深入的了解。

    她沉吟了片刻,突然想起了一件事。

    “秦师傅,我记得,我们之前与中科院长春光机所,合作开发了一种新型的氟化物光学晶体材料,据说在深紫外波段的透过率和抗激光损伤性能都非常优异。

    不知道那种材料,是否有可能应用于我们的物镜系统?”

    秦师傅闻言,眼睛顿时一亮:“哦?有这种事?我怎么不知道?”

    “那是两三年前的一个预研项目了,当时主要是为了验证材料本身的性能,并没有考虑具体的应用场景。

    项目结题后,相关报告就被存档了,可能没有流转到您手上。”刘欣解释道:“我回头让人把那份报告找出来,您看看是否具有可行性。”

    “好!太好了!”秦师傅用力一拍大腿,脸上露出了久违的笑容:“如果那种材料真的像你说的那么好,那我们的物镜系统问题,就有救了!小刘,你可是帮了我们大忙了!”

    周围的几位骨干,脸上也纷纷露出了振奋的神色。困扰了他们数周之久的一个技术难题,似乎出现了一线解决的曙光。

    刘欣微笑着摇了摇头说道:“秦师傅客气了。我们都是为了同一个目标在努力。只要能解决问题,谁发现的并不重要。”

    这个小插曲,只是渊基地和星火基地日常工作中,无数个技术攻关场景的一个缩影。

    没有豪言壮语,没有惊天动地,只有无数个像秦师傅,和刘欣这样的科研工作者和工程师,在各自的岗位上,默默地贡献着自己的智慧和汗水,一点一点地,将看似不可能的目标,变成触手可及的现实。

    而就在他们为了65纳米节点的技术难题,而殚精竭虑时,远在荷兰的ASML总部,一场针对他们的阴谋,也在悄然推进。

    范德文CTO的办公桌上,摆放着一份由ASML情报部门提交的,关于拂晓项目核心团队成员的详细背景调查报告。

    报告中,刘欣、陈向东、秦卫国等人的教育背景、工作经历,以及家庭情况,都被调查得一清二楚。

    范德文的目光,在刘欣的照片上停留了片刻。他想起一个月前,那位在埃因霍温与他侃侃而谈,不卑不亢的龙国女学者。

    她给他留下了深刻的印象,聪明、自信、冷静、专业。如果有可能,他真的很希望能够与她,以及她背后的团队,进行真诚的合作。

    但他知道,在熔岩计划已经启动的背景下,这种可能性,已经微乎其微了。

    商业竞争,有时候就是这么残酷。即使你欣赏你的对手,你也必须全力以赴地去击败他。

    他拿起桌上的红笔,在刘欣的名字上,画了一个重重的圆圈。

    然后,他拿起另一份文件,开始仔细阅读起来。那是一份关于如何通过第三方中介机构,接触并挖角拂晓项目核心成员的详细行动计划。