1998年7月,魔都,渊基地。

    国家工程研究中心挂牌成立的消息,如同一股强劲的东风,吹遍了渊基地的每一个角落。

    虽然日常的工作节奏并未因此放缓,但每个人脸上都多了一份,难以掩饰的振奋和自豪。

    他们不再是孤军奋战的游击队,而是正式成为了国家队的一员。

    秦师傅却依然是那副雷打不动的淡然模样。他既没有表现出特别的兴奋,也没有流露出丝毫的松懈。

    对他来说,无论挂什么牌子,叫什么名字,他的工作始终只有一个,把手里的活儿,干到最好。

    此刻,他正站在一台崭新的、结构比拂晓二代更加复杂、体积也更加庞大的机器面前。

    这是拂晓三代的第一台工程验证样机,刚刚完成了主体结构的组装,和基本电气系统的调试。

    与二代机相比,三代机在外观上最显著的变化,是投影物镜系统变得更加巨大和臃肿。

    为了实现0.93数值孔径的目标,物镜的镜片数量,从二代机的十几片,增加到了二十多片,镜片口径也增大了将近一倍。

    整个物镜系统,如同一尊沉重的钢铁巨塔,矗立在机台中央。

    秦师傅绕着这台巨塔缓缓走了一圈,用手背感受了一下,几个关键散热部位的温度,又俯身检查了几处管线,和接头的密封情况。

    然后,他直起身,对身边几位同样神情专注的核心骨干说道:“通电,先跑一遍空载自检程序。所有子系统,逐项排查。”

    他的声音不高,却带着一种不容置疑的威严。几位骨干立刻应声,各自回到自己的工位前,开始熟练地操作起,面前的控制面板和测试仪器。

    随着主电源开关被合上,低沉的电流嗡鸣声,开始在空旷的大厅里回荡。

    各种指示灯次第亮起,如同繁星点点。控制台屏幕上,一排排绿色的自检通过字样,开始逐行向下滚动。

    照明系统,自检通过。

    浸没单元,自检通过。

    工件台系统,自检通过。

    整机通讯总线,自检通过。

    一切,似乎都在顺利进行。秦师傅站在主控台前,双手抱在胸前,目光紧紧盯着屏幕上的每一行信息。

    突然,屏幕上弹出了一个红色的警告框:“警告:投影物镜系统温度传感器组#07读数异常。当前读数:38.5℃。预期范围:22±0.1℃。”

    秦师傅的眉头,猛地一跳。38.5℃!这个温度,已经远远超出了物镜系统,正常工作所需的恒温范围。

    如果不及时处理,镜片会因为热膨胀而产生微小的形变,导致成像质量急剧下降,甚至可能损坏镜片表面的镀膜。

    “立刻停止自检!切断物镜系统冷却回路以外的所有电源!”秦师傅的声音,瞬间变得急促而凌厉。

    几位骨干立刻行动起来。几秒钟后,主电源被切断,大厅里的嗡鸣声逐渐平息。只有几盏应急灯,还在散发着昏黄的光芒。

    秦师傅快步走到物镜系统侧面,那里布置着密密麻麻的冷却水管路,和温度传感器接口。

    他没有立刻动手检查,而是先闭上眼睛,静静地感受了几秒钟。然后,他睁开眼,伸出手,极其精准地,摸到了其中一根冷却水管的接头处。

    “这里,有点烫。”他低声说道。

    几位骨干立刻围了过来。有人拿来红外测温仪,对准秦师傅手指的位置一测,显示温度:41℃。

    问题找到了。是这一小段冷却水管的接头处,发生了堵塞或者流量不足,导致冷却液无法有效带走热量,引起了局部温度急剧升高。

    “立刻停机,更换这一段管路,并检查整个冷却循环系统中,是否有异物堵塞。”

    秦师傅下达了指令,语气恢复了平时的沉稳,但额角渗出的细密汗珠,暴露了他内心的紧张和后怕。

    如果不是在空载自检阶段就发现了这个问题,等到正式开始曝光测试时,高温可能会导致价值数百万美元的物镜系统 irreversibly damaged。那样的损失,将是整个项目无法承受的。

    “秦师傅,您真是神了!这么多管子,您怎么一下子就摸到问题所在了?”一位年轻工程师,忍不住惊叹道。

    秦师傅没有回答,只是默默地走到窗边,他望着窗外魔都夏日午后的阳光,深深地吸了一口。

    他刚才,其实什么都没感觉到。他只是凭着数十年与精密机器打交道积累下来的,近乎本能的直觉,觉得那个位置不对劲。

    这是一种无法用语言解释,甚至无法用仪器完全替代的经验和感觉。它来自于无数次成功与失败的积累,来自于对机器每一个细节的熟悉和敬畏。

    他知道,随着拂晓三代机的研发进入深水区,类似的,意想不到的问题,还会层出不穷。

    而他,和渊基地的每一位成员,都必须时刻保持这种如履薄冰,如临深渊的警惕和专注。

    因为,他们正在打造的,不仅仅是一台机器。他们正在铸造的,是龙国高端制造业的未来和希望。

    任何一丝一毫的疏忽,都可能让之前的努力,付诸东流。

    他掐灭烟头,重新走回那台巨大的机器旁。新的冷却水管,已经被拿来,几位骨干正围在一起,准备进行更换。

    “等等。”秦师傅叫住了他们。

    他走到那根管子前,没有立刻动手,而是先仔细检查了管口的密封圈和接头螺纹,确认没有任何瑕疵后,才亲自上手,开始进行更换操作。

    他的动作,不快,甚至有些缓慢,但每一个动作,都极其精准、稳定,没有一丝一毫的多余和晃动。

    仿佛,他不是在更换一根水管,而是在进行一场神圣的仪式。

    1998年8月,比利时,鲁汶。

    IMEC(Interuniversity Microelectronics Centre,欧洲微电子研究中心)的洁净室里,一位年轻的华裔研究员,正盯着扫描电子显微镜下的一张光刻胶剖面图,眉头紧锁。

    他叫李明辉,三年前从清华大学博士毕业后,来到IMEC从事先进光刻工艺的研究。

    他是IMEC内部少数几位,对浸没式光刻技术有深入研究的研究员之一。

    他面前的这张剖面图,来自一片刚刚经过曝光和显影的测试晶圆。曝光参数,是他根据一篇刚刚发表在《Journal of Micro/Nanolithography, MEMS, and MOEMS》期刊上的、署名作者为“Liu Xin”等人的论文中的一

    组实验数据,进行复现和优化后得出的。

    这篇论文,是刘欣领导的朱雀算法团队,在计算光刻领域取得的一项重要成果的总结。

    论文中提出了一种新颖的、基于稀疏表示的光学邻近效应修正算法,在理论上,可以将计算效率提升数倍,同时保持甚至提升修正精度。

    这本是一篇纯粹的技术论文,没有透露任何具体的设备参数,和工艺流程细节。

    但李明辉在读这篇论文时,却敏锐地捕捉到了一些不同寻常的信息。

    论文中用于验证算法效果的测试图案的设计,以及某些仿真结果的边界条件,与他所了解的,ASML和尼康主流量产机型的技术特征,存在一些细微的,但无法忽略的差异。

    这些差异,暗示着论文作者所使用的光刻系统,在某些关键性能指标上,可能已经达到了一个相当高的水平。

    他本能地感觉到,这篇论文的背后,可能隐藏着一些重要的信息。

    他没有声张,而是利用IMEC先进的实验设备,和自己的专业知识,对论文中的算法进行了复现和验证,并尝试将其应用于自己所熟悉的曝光条件下。

    结果,令他大吃一惊,这种新算法,在特定条件下,效果出奇的好,甚至优于IMEC目前正在评估的一些商业软件。

    他越想越觉得不对劲。他决定,将这篇论文,连同自己的复现实验结果和分析报告,发送给自己在宝岛积体电路制造公司,研发部门的一位师兄,请他帮忙看看。

    他不知道的是,他的这封邮件,在被发送到宝积电之前,已经被ASML安插在IMEC内部的技术情报人员,截获并复制了一份。

    几天后,这份邮件的内容,连同李明辉的分析报告,摆在了ASML的CTO范德文的办公桌上。

    范德文仔细阅读了这份报告,脸色变得越来越凝重。他虽然不是计算光刻领域的专家,但多年的技术管理经验,让他能够敏锐地判断出,这份报告的分量。

    报告中所描述的算法,如果属实,将意味着那个东方幽灵,在计算光刻这个光刻机核心配套技术领域,也已经取得了足以威胁到,ASML现有优势地位的进展。

    他拿起电话,拨通了CEO的内线:“老板,我这边有些情况,需要向您当面汇报。关于那个幽灵的,可能比我们之前想象的,更加麻烦。”

    与此同时,在京城,星火基地的计算光刻实验室里,刘欣正盯着屏幕上刚刚完成的,针对0.93数值孔径浸没式光刻系统优化后的朱雀算法仿真结果,满意地点了点头。

    她并不知道,她发表在期刊上的那篇论文,已经在万里之外的欧洲,激起了一场意想不到的涟漪。

    她更不知道,一场针对她和她的团队的,更加隐蔽和危险的暗箭,正在悄然酝酿。

    1998年8月下旬,荷兰埃因霍温,ASML总部,CEO办公室。

    窗帘紧闭,室内的光线有些昏暗。ASML的CEO和CTO范德文相对而坐,两人面前的茶几上,摆放着那份关于刘欣论文的分析报告,以及一份由法务部门连夜整理出来的,关于如何利用这篇论文,进行法律层面操作的初步评

    估。

    “这篇论文,发表在一个影响力尚可,但并非顶尖的国际期刊上。”CEO的声音,在安静的办公室里,显得有些低沉。

    “论文的内容,虽然涉及了浸没式光刻的核心配套技术,但并没有直接泄露任何具体的设备参数,和工艺流程。

    如果我们直接以此为由,发起专利诉讼或者技术剽窃指控,证据链不够充分,很容易被对方反诉恶意诉讼。”

    “但是,”他话锋一转,目光变得锐利:“这篇论文,以及论文的作者Liu Xin,却给了我们一个绝佳的诱饵。”

    范德文微微一怔:“诱饵?”

    “对,诱饵。”CEO站起身,走到窗边,背对着范德文,望着窗外埃因霍温的街景说道。

    “我们不需要直接攻击这篇论文本身。我们可以利用这篇论文,制造一个机会,一个让对方的核心技术专家,主动跳出来的机会。

    他转过身,目光中闪烁着一种猎人般的冷酷光芒:“安排一下,以ASML的名义,向这位Liu Xin女士,发出一封正式的邀请函。

    邀请她来ASML总部,进行一次学术访问和技术交流。主题,可以是计算光刻技术的最新进展与未来挑战。”

    “我们可以承诺,为她提供往返头等舱机票、五星级酒店住宿,以及一笔可观的演讲酬劳。

    同时,邀请她参观我们最先进的研发设施和生产线。”

    范德文瞬间明白了CEO的意图。这是一招明修栈道,暗度陈仓。表面上,是对刘欣个人的学术成就表示认可和尊重,邀请她进行高规格的学术交流。实际上,却是一个精心设计的陷阱。

    如果刘欣接受了邀请,来到ASML总部,他们将有机会近距离观察她,与她交流,甚至可能通过一些精心设计的技术讨论,试探出她和她背后团队的真实技术水平和研发进展。

    更重要的是,他们可以利用这次访问,制造一种ASML与该领域顶尖学者保持良好合作关系的假象,混淆视听,离间刘欣与拂晓团队之间的关系。

    如果刘欣拒绝了邀请,他们也可以借此大肆宣传,声称龙国学者缺乏国际合作精神、技术封锁论的又一例证,在国际学术界和产业界,对她和她所在的团队进行舆论抹黑。

    无论刘欣接受还是拒绝,ASML都能从中获利。这是一个精心设计的,难以防范的阳谋。

    “这个计划,会不会太冒险了?”范德文有些担忧地问道:“如果她在访问期间,发现了我们的一些核心机密怎么办?”

    “核心机密区域,她不可能接触到。”CEO胸有成竹地说道:“我们只会让她看到我们想让她看到的东西。而那些想让她看到的东西,会让她和她的团队,对ASML的技术实力,产生更加深刻和直观的认识。这本身就是一种心

    理战。’

    他顿了顿,补充道:“当然,为了以防万一,在她访问期间,我们会安排最专业的陪同人员,全程照顾她的行程。

    确保她只能看到、听到、接触到我们允许她看到、听到、接触到的一切。”

    范德文沉默了片刻,最终缓缓点了点头说道:“我明白了。我马上去安排邀请函的发送事宜。”

    几天后,一封措辞热情洋溢、署名人为ASML CTO范德文的正式邀请函,通过电子邮件和纸质信件两种方式,发送到了刘欣在京城星火基地的办公邮箱和物理地址。

    邀请函中,范德文高度赞扬了刘欣,在计算光刻领域取得的杰出成就,并诚挚邀请她于1998年10月,访问ASML总部,进行为期三天的学术交流和技术参观。

    ASML将承担所有费用,并提供最高规格的接待。

    刘欣看到这封邀请函时,第一反应不是惊喜,而是警惕。她立刻将这件事,报告给了谢建军。

    谢建军看完邀请函,沉默了片刻,然后缓缓放下信纸,嘴角泛起一丝意味深长的笑容:

    “有意思。ASML这是,想请君入瓮啊。”