奇梦达的12英寸晶圆厂,在城西的半导体园里。

    300mm晶圆(12英寸)的面积是此前主流200mm(8英寸)晶圆的2.25倍,适配90nm及更先进的制程工艺,是目前半导体先进产能的标志。

    奇梦达是全球内存厂商中率先大规模投资300mm晶圆产线的企业,目前有4座300mm厂仍在运营。

    辉煌过的。

    甚至可以说,现在也有骄傲的资格。

    受DRAM价格持续阴跌影响,奇梦达已经开始降低产能利用率,同时在全力推进75nm向65nm、46nm掩埋字线(BWL)技术的切换。

    差不多是最后一搏。

    这家06年5月才从英飞凌拆分出来的企业,06年8月上市的时候还是欧洲存储之光,短短两年,已经开始计划卖厂、求德国政府补助了,不得不让人感慨半导体行业周期的残酷。

    同时也展示着一个深刻的道理:干科技,要么谨小慎微,要么背后有人。

    两者皆无,死得极快。

    次日一早,陈学兵的车进奇梦达厂门,正赶上周日轮班的工人换岗,穿着防静电服,三三两两,走路时也不大交谈,显得有点沉闷。

    接待他的是厂里的运营经理。

    不过陈学兵来前已经说过需要技术讲解,由于技术总监在慕尼黑总部,只能应他们的要求,安排了一位名叫韦伯的资深老专家陪同讲解。

    一行人进了生产区,隔着洁净室的玻璃往里看,自动化产线安静地运行,机械臂起落,晶圆在轨道上流转,看上去倒是极为高端。

    运营经理一路讲市场、讲信心、讲30nm的前沿技术研发,讲46nmBWL的美好未来,英语很好,词儿也十分熟练。

    陈学兵没心思听这些套话,开口就问了一个问题:“这条线现在的开工率有多少?”

    运营经理迟疑了一下:“七成左右。”

    “哦?上次我来过,当时的开工率不到四成,现在反而涨了这么多?”

    (建议回看610章)

    陈学兵一句反问,运营经理冷汗都下来了。

    还好运营经理深谙马屁之道,脑瓜子飞速运转之下快速说道:“上次贵司和联想联合向我们下了一批订单,缓解了我们一些库存压力,这都要多亏你们。”

    上次陈学兵带着投资方案来,合资共建实验室的方案虽然被联邦经济部给否了,但订单还是给了奇梦达,所以有了这一次的高规格接待。

    不过,具体给了多少订单,陈学兵心里有数,他并没有给出关键的包销产能条件,就一批订单也是收着给的,而且是分批给的。

    不过是表达一个友好合作的态度而已,离解决奇梦达的燃眉之急简直还有天差地别。

    今天这个七成开工率,假得离谱。

    陈学兵也没有接着拆穿,运营经理也不敢多说了,眼神示意韦伯讲解技术。

    这个叫韦伯的老专家一开始还讲得挺认真,但过了一会,表情开始有点不对了,眼光老是瞥向队伍最后面。

    韦伯也不是第一次陪人参观了。

    他习惯了客人隔着玻璃礼貌地点头,拍照,说几句“impressive”之类的称赞之词,可今天,队伍尾巴上有个五六十岁的亚洲人,一进门眼神就不对。

    那个亚洲人全程都没看那些气派又上镜的机械臂,专挑角落里那些测量工位和缺陷分析的屏幕看,时不时还脱离大部队,盯着生产线的某一处看半天。

    韦伯有点不高兴了。

    你在看什么?

    你看得懂吗?

    他不禁开口提了一句:“那位是贵方的技术人员吗?我建议他应该认真听,深沟槽到埋字线的切换是我们的独特技术,平时是不会对外透露一个字的,贵方是我们重视的客人,我们才会安排讲解。”

    一行人看向后面的梁孟松。

    梁孟松笑了笑,走过来,慢悠悠地问了一句:“这片晶圆的bin map,能调出来吗?要最近的三十片,同一条线的,不要挑过的。”

    bin map,就是晶圆上每一颗晶粒好坏的分布图。

    外行看一片晶圆光不光滑,内行只需要这张图——缺陷到底是随机的,还是沿着某个方向、某道工序成系统地冒出来,全在这张图上。

    韦伯愣了一下。

    一进门就要这个东西的人,肯定是亲手爬坡过良率的。

    他不太想给,但刚才都说了对方是重要的客人,也不好当场打自己的脸,还是调了图出来。

    梁孟松盯着屏幕看了不到半分钟,手指点在晶圆边缘一圈隐隐发红的位置上:“边缘这一圈,是edge bead还是chuck的问题?你们最近换过光刻胶的批次?”

    韦伯脸色彻底变了。

    他没回答,反问道:“先生是做哪一行的?”

    这话问出来,陈学兵笑了。

    他晓得梁孟松肯定是极短时间内看出了什么关键问题,震撼到对方了。

    同行的股安团队也在暗笑。

    “逻辑。”梁孟松眼神倒是极为专注,都没离开过屏幕,缓缓说道:“我做铜制程,FinFET,存储不是我的本行。”

    这话很平淡,甚至有点自降身份,毕竟一个把铜制程做到击败IBM、手里攥着近五百项专利的人,介绍自己的时候明显有更多可说的。

    可老头听到FinFET,更加不敢怠慢。

    FinFET,目前已经是全行业都知道绕不过去,却还没有任何一家能量产的下一代结构。

    现在能说自己“在做FinFET”的人,都是全球屈指可数,处于金字塔尖的研发核心人物。

    而且铜互连是先进制程的一道大关,FinFET是下一道大关,如果一个人能横跨这两样,说明他绝对不是某个环节的工程师,而是能主导一整条先进制程研发的将才,段位可能远在自己之上。

    逻辑和存储,单元结构是两码事,可底层功夫是相通的,缺陷密度、过程控制、设备调校,良率爬坡,这些硬桥硬马的东西,是大家都要过的坎。

    “埋字线的金属栅,是用什么填的?”梁孟松接着又问。

    老头明显谨慎多了,憋了半天,嘴里蹦出一个词:“钨。’

    梁孟松的问题立马开始连珠炮了。

    “高宽比多少?填充之后切开看过截面吗,void(空洞)率多少?”

    韦伯报了几个数。

    梁孟松不置可否,又问到深沟槽电容的深宽比、漏电分布,刷新时间的尾bits (性能最差的那一批颗粒)。

    本来陈学兵队伍是准备了德语翻译的,由于韦伯懂英语,这一步便省了,大家看着梁孟松和韦伯俩人对着一张缺陷图,用大多人听不懂的英文术语越来越快,越来越简略地交流,齐齐明白什么叫“隔着屏幕都能闻到产线的味

    道”。

    大部队上午就离开了厂区,梁孟松却在洁净室待了整整一天。

    中午都没出来吃饭,还是让人把三明治和水送进去的。

    陈学兵接到陪同梁孟松的德语翻译的电话,说奇梦达那边有点严阵以待的意思,中午又过去两个专家,陪梁孟松一个人参观的技术人员比上午还多了一倍。

    直到下午五点,才说梁孟松要出来了,陈学兵亲自到门口去接。

    一群人簇拥着梁孟松出来的时候,就梁孟松一个人在说话。

    “你们46nm埋字线DRAM比逻辑更难,你们现在是深沟槽,电容要往硅里面挖,越深越细,深宽比上去之后,每一道工序的窗口都得像刀片,埋字线方向是聪明的,把字线埋下去、换金属栅,单元能做小,电阻能下来,

    可你们等于在沟槽这条老路上,同时换晶体管、换字线、换节点,三件事一起做。”

    “这齐齐一跳,需要多少钱,你们自己心里很清楚。”

    “听说台湾那家合资的华亚科,你们已经在谈出售权益。”

    此时韦伯已经看到了门口等待的陈学兵,连忙辩解了一句:“那是为了改善现金,聚焦资源。”

    “那是你们最后的产能退路。”梁孟松很不给面子地淡淡纠正他,“把它卖了,说明你们的总部已经在做最坏的打算了。”

    最后一句话,奇梦达的人都有些面色尴尬。

    陈学兵倒是没有在意,大笑着迎了上去,跟每个人握了手,又跟众人说了几句场面话,才把梁孟松接上车。

    车子起步,陈学兵跟外面的人挥了挥手,关上窗户,心情颇好地笑道:“梁总深藏不露,我没想到你今天能让他们紧张成那样,上次我来的时候,他们的技术人员糊弄几句就过去了,验货这事,到底还得专业的人来啊。”

    梁孟松笑了一声,摇了摇头。

    “不是我比他们专业,那个韦伯博士,他的团队在IEDM上发了埋字线的论文,做出了全世界最小的存储单元,他有骄傲的资本,只是今天我跟他聊的不是论文,是量产。论文是在最好的那一片晶圆上做出来的,量产是要让几

    万片晶圆、每一片都过得去,他们想用技术论文的先进掩饰量产的难关,被我一问,自然是要哑口的。”

    工程论、量产论,陈学兵听过不止一次了。

    前几天蒙布里松就跟他说过一次。

    不过蒙布里松那一行,理论是老化的、相对简单的,更注重工程能力。

    芯片这一行,理论却是由全世界的顶尖专家联手突破,实时更新,其难度高了若干个等级,理论和工程化能力同等重要。

    要像梁孟松这样理论与工程能力双双顶尖,不仅需要脑力值拉满,还需要极度专注地投入一生。

    天才不可复制。

    陈总今天再次见到高手拔剑,对于接下来去招募全世界的英雄更加兴奋。

    “怎么样,他们的技术,以后还会值钱吗?”他问道。

    “他们开发BWL这一步还算及时,深沟槽的路线走到头了。”梁孟松淡淡说道:“越往先进节点走,沟槽深宽比越夸张,刻蚀和电容形成越来越难,越来越贵,微缩扩展性又打不过三星那一派的堆叠电容,所以奇梦达大约在70

    nm节点就被这条路线拖得失去了成本优势,BWL的做法,是把TiN/W金属字线埋到硅表面以下,让它同时当两样东西,低电阻的互连,和阵列晶体管的金属栅极。”

    陈学兵没太听懂。

    只是阵列晶体管这个词,让他想到了FinFET。

    不过他此时也不想学习技术细节,只要知道技术具备未来拓展性即可。

    他是不想收了一堆旧时代的垃圾,虽然知道日后长鑫存储靠奇梦达的技术包做起来了中国DRAM厂,全球第四大厂,但是这个第四,离前三有多远还未可知。

    想了想,他转而问道:“如果把奇梦达打包收购,慢慢拆解技术,中芯有机会在DRAM赛道追上三星、海力士、美光吗?”

    梁孟松皱了皱眉,有些奇怪地看了陈学兵一眼。

    陈学兵干咳一声,调整了用词:“追赶。”

    梁孟松仍旧摇头。

    “奇梦达的业务基因和中芯已经完全不兼容了。

    “中芯原本就是DRAM代工,收的是生产加工费,芯片的设计、定价、销售风险都由客户承担,现在更是全面退出了DRAM代工业务,全面转向逻辑代工。

    “而奇梦达是IDM自主设计,拥有完整的DRAM核心知识产权,掌握从设计到制造的全套技术,也是行业技术标准的制定者之一。

    “在DRAM行业地位上,一个是技术承接方,一个是技术输出方,中芯不拥有DRAM核心专利,也不具备独立研发DRAM产品的能力。

    “你要让中芯去承接奇梦达,不仅会扰乱中芯的节奏,还会影响DRAM路线的研发,我在中芯主事,只会二选一,我肯定会选FinFET,所以最终的结果就是DRAM战略优先级永远低,资源被持续挤压,这是双失。”

    “另外...”梁孟松话锋一转:“你收购了奇梦达,也救不活它。它的历史债务、老旧产能很多,历史包袱沉重,成本结构有天然劣势,外部还有同行打压,德国、美国、台湾工厂又不能外迁,人工成本极高,生产出来的芯片成

    本比三星还高,根本打不起价格战,收购以后你能干什么?有什么特殊的经营计划吗?”

    陈学兵沉吟了一下,说起自己最初的计划:“我想...只要它有独特的技术优势,我可以让国内的订单忍痛补贴一下,麒麟的高端订单,联想的PC订单,都是可以接受一点差价的,大不了我个人再补贴一点就好了。”

    “独特的技术优势,是肯定有的。”梁孟松先是首肯:“埋字线技术在理论上站得住脚,称得上是未来技术,我认为不属于奇技淫巧,而是主流方向,对中国来说,战略价值更高,可以说是中国企业能拿到的,唯一完整无专利

    纠纷的DRAM技术体系。三星、海力士、美光的堆叠技术专利壁垒森严,根本不会对外授权,尔必达的技术也对中国封锁。只有从奇梦达这里,才有机会拿到从设计到制造的全套技术。”

    梁孟松深知陈学兵看重什么,便从陈学兵在意的方向去分析。

    这话,也把陈总心中的火点燃了。

    “那就补贴!全部拿下,我要拿到最完整的技术!”

    梁孟松笑了:“何必呢。”

    陈学兵侧目:“你有更好的办法?”

    梁孟松郑重了脸色说道:“从现在起把人盯住,韦伯,还有他手底下那几个做制程整合的,比整条产线和设备都要值钱。’

    陈学兵愣了愣:“奇梦达难道就这几个能人?”

    “不是就这几个,我今天已经摸清了他们的岗位分布,我会给你一个岗位名单,这些岗位上的人应该不超过200人,安排人把这些岗位的人全留下来,奇梦达的技术就是你的。”

    梁孟松这一句话,让陈学兵茅塞顿开。

    原来梁孟松进去的时候就早有算计。

    奇梦达几千个人不好盯,但要是只有两百个,那就好办了。

    “垮就让它垮。”梁孟松接着说道:“等它进了破产程序,资产打折,债权人心切、州政府也想有人保住工厂和饭碗,到时候政治阻力会很小。”

    陈学兵摸了摸后脑勺。

    这么说,这事是他办得心急了,又是给订单,又是找美国政府的,早该让梁孟松来看一看才对。

    当初他想的是,自己手里没有DRAM的完整体系,想要让中芯拿点技术包、挖点人就把奇梦达的技术承接下来,实非易事。

    如果收购了完整的奇梦达,技术日后可以择机一点点挖回国。

    这么一想,他又问道:“研发怎么办?我们不买厂,去哪搞研发啊?既然这个BWL技术有价值,又在研发之中,研发不能停吧?”

    梁孟松淡淡一笑:“为什么不去中国建厂呢?”

    “来得及?”陈学兵反问。

    他随即想到长鑫是七八年后才拿到的技术包,当时都来得及,现在有什么来不及的呢?

    “来得及。”梁孟松笑着给了个计划:“他们的西安研发中心,是奇梦达全球第二大研发机构,拥有50人左右的完整本土设计团队,完整掌握BWL技术的全流程设计,已经成功量产过70nm,正在推进46nm研发,你把它拿

    下,再定向挖角德国核心专家,研发一步都不会慢,厂子可以慢慢建,以中国的人工、土地、水电成本,单独成立一家新公司去运营它,完全可以做出具备价格竞争力的产品。”

    “我建议...”梁孟松又缓缓说道:“国内的厂子,就建在西安,与中芯主业务完全切割。”

    车内一阵沉默。

    一时之间,无数念头,无数未来的故事在陈学兵脑子里闪回。

    半晌,他笑了。

    “你怕我把厂子建在上海,影响中芯的业务?你要是担心这个,建DRAM厂....我倒是有个更好的去处。